メーカー 良い価格 シラン (A1160) 3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン 50% メタノール溶液 CAS: 7803-62-5

シラン（SiH4）は、空気中で自然発火性で、水によってゆっくりと分解する無色の気体です。アルカリ水溶液中では完全に加水分解され、水素とケイ酸塩を生成します。商業規模で製造され、圧縮ガスとしてボンベで販売されています。シランは、純粋またはドープされたものを問わず、600℃を超える温度で熱分解することにより、半導体シリコンを調製するために使用されます。電子産業における半導体シリコンのエピタキシャル成長において、ゲルマン、アルシン、ジボランなどのガス状ドーパントが、非常に低濃度でシランに添加されることがあります。より高次のシラン、例えばSi2H6やSi3H8も知られていますが、SiH4よりも安定性に劣ります。これらは低級飽和炭化水素の類似体です。
2. 半導体用の超高純度シリコンの供給源。
3. 固体デバイスのドーピングや電子産業用の半導体シリコンの製造に使用されます。