メーカー良い価格シラン (A1160) 3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン 50% メタノール溶液 CAS: 7803-62-5

シラン、SiH4 は無色のガスで、空気中で自然発火性があり、水によってゆっくりと分解されます。アルカリ水溶液の存在下では完全に加水分解されて水素とケイ酸塩が形成されます。商業規模で製造され、シリンダーに入った圧縮ガスとして販売されます。純粋なシランまたはドープされたシランは、600 °C 以上での熱分解によって半導体シリコンを製造するために使用されます。エレクトロニクス産業用の半導体シリコンのエピタキシャル成長では、ゲルマン、アルシン、ジボランなどのガス状ドーパントが非常に低濃度でシランに添加されることがあります。高級シラン、例えば、Ｓｉ ２ Ｈ ６ およびＳｉ ３ Ｈ ８ が知られているが、ＳｉＨ ４ よりも安定性が低い。これらは低級飽和炭化水素の類似体です。
2. 半導体用の超高純度シリコンの供給源。
3. 固体デバイスのドーピングおよび電子産業用の半導体シリコンの製造に使用されます。